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プラズマプロセス用RF電源

RF電源・整合器・センサ・フィルタ。RF伝送路を一社で。

CVSは、半導体・太陽電池・ディスプレイ製造におけるPECVD、エッチング、拡散、イオンソース、スパッタ装置向けのRF電源機器を設計・製造しています。

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Barracuda 13.56 MHz RF電源
300 kHz – 13.56 MHzRF電源の周波数
0.9 – 5.5 kWRF電源の出力
<2 s整合器の整合時間
12か月保証期間
製品の構成

RF伝送路

RF電源

Barracuda · Snapper

安定化RF出力、CWまたはパルス

センサ（オプション）

Phase-X

電圧・電流・位相・負荷インピーダンスを測定

整合器

Cruiser Solo · Duo

プラズマ負荷を50 Ωに変換

チャンバ

プラズマ負荷

電極、ペデスタル、シャワーヘッド

RFフィルタ

ヒーター · 静電チャック · フェースプレート用フィルタ

チャンバのヒーター・チャック電源ラインへのRF侵入を防止

製品

製品ラインアップ

コネクタ、通信プロトコル、整合範囲、筐体サイズはお客様の装置に合わせて構成します。

Barracuda 13.56 MHz RF電源
RF電源 · 13.56 MHz

Barracuda

E級アンプ方式のRF電源。CWおよびパルス出力を標準装備。ハーフラック水冷筐体で最大5.5 kW。

1.5 / 3 / 5.5 kW定格出力
150 Hz – 50 kHzパルス周波数
<10 msRFオン応答時間
≤ −45 dBc高調波
詳細仕様
項目1.5 kW3 kW5.5 kW
品番M-719001M-719002M-719003
周波数13.56 MHz ±0.005%
供給電力、VSWR 2:1 / 3:11125 / 650 W2000 / 1200 W3350 / 1900 W
最大反射電力300 W600 W1000 W
設定精度設定値の±1%または定格出力の±0.1%のいずれか大きい方
低出力精度（HALO：High Accuracy Low Output）±1%、25 W未満は±0.25 W—±1%、25 W未満は±0.25 W
パルスデューティ比10–90%（1%刻み）· 最小オン時間10 µs · 立上り/立下り<2 µs · 同期 / CEX対応
AC入力187–229 VAC、三相、定格208 VAC · 力率0.96 · 効率60%（代表値）
全出力時の入力電流6.9 A/相14 A/相26 A/相
コネクタ（AC · RF）Harting Han-Q 5/0 · HN メスHarting Han-Modular 40 A · L29 (7/16) メス
通信アナログ、RS-232、Ethernet、EtherCATから注文時に選択
冷却水7.6 L/min 以上11.4 L/min 以上
冷却水温度 · 圧力最高+35 °C · 2.0–6.9 bar
寸法 · 質量133 × 216 × 485 mm, ハーフラック · 20.5 / 22 / 24 kg
Snapper低周波RF電源
RF電源 · 300–450 kHz

Snapper MF-900 / MF-1250

7タップ出力トランスを内蔵した低周波RF電源。低インピーダンスのプラズマ負荷に整合します。周波数は300～450 kHzで調整可能。

900 / 1250 W定格出力
10–125 Ω出力インピーダンス
±1%または±2 W出力安定度
2U19インチラック
詳細仕様
項目MF-900MF-1250
品番M-718001M-718002
出力範囲9–900 W10–1250 W
出力インピーダンス10–50 Ω, 7タップ10–125 Ω, 7タップ
最大反射電力<250 W<280 W
出力電圧 · 電流最大300 V（50 Ω）· 最大6 A
AC入力180–230 VAC、単相、最大7 A180–230 VAC、三相、6.2 A（代表値）
コネクタRF：N型メス · ユーザーポート：25ピンD-sub
寸法 · 質量88 × 434 × 660 mm · 最大13.6 kg
Cruiser Solo自動整合器
自動整合器

Cruiser SoloとCruiser Duo

Solo：13.56 MHz単周波整合器、1.6～10 kW。Duo：2系統の整合器を1出力に統合、13.56 MHzと400 kHzまたは2 MHzの組合せ。整合範囲はチャンバに合わせて構成。Phase-Xセンサ内蔵オプションあり。

<2 s整合時間
<1 sプリセットから
1.6 – 10 kWSolo入力電力
13.56 MHz ±5%周波数帯
詳細仕様
型式品番定格寸法 · 質量 · 冷却
Solo 1.6 kWM-7150013000 Vpk · 35 Arms210 × 270 × 315 mm · 5.5 kg · ファン
Solo 3 kWM-7150024000 Vpk · 35 Arms210 × 270 × 315 mm · 5.5 kg · ファン
Solo 5.5 kWM-7150036000 Vpk · 80 Arms210 × 270 × 315 mm · 6 kg · ファン
Solo 10 kWM-71500410 000 Vpk · 80 Arms210 × 270 × 365 mm · 6.2 kg · 水冷 + ファン
Duo 13.56 MHz + 400 kHzM-7160013000 W + 1000 W210 × 270 × 315 mm · 10 kg
Duo 13.56 MHz + 2 MHzM-7160023000 W + 5000 W203 × 356 × 406 mm · 14 kg
通信アナログ、RS-232、Ethernet、EtherCATから注文時に選択
動作環境−25～+55 °C、10–90% RH
Phase-X V-Iセンサ
インラインV-Iセンサ · 400 kHz – 13.56 MHz

Phase-X

チャンバ直前の電圧・電流・位相・負荷インピーダンスをリアルタイムで測定。マイクロ秒レベルのTTLトリガ信号で装置へ高速フィードバックし、低開口率エッチングの終点信号を含む閉ループ制御に使用できます。

1–1000 Vrms電圧範囲
0.1–35 Arms電流範囲
±0.3°位相精度
±2%電力精度、0–30°
詳細仕様
項目13.56 MHz400 kHz
品番M-717001
電圧精度±0.2 V または 2%±0.6 V または 2%
電流範囲 · 精度0.1–35 A · ±0.02 A または 2%0.1–10 A · ±0.06 A または 2%
位相精度（≥10 V、≥1 A）±0.3°±0.4°
位相角別の電力精度±2% ～ ±4% (0–80°)±3% ～ ±5% (0–80°)
インターフェースRS-232 · CVS VFP（仮想フロントパネル）ソフトウェア · TTLトリガ出力
RFコネクタHN型メス · 1000 Vrms, 35 A
静電チャックチャンネル付き2チャンネルRFフィルタ
LCローパスフィルタ · 400 kHzおよび13.56 MHz

RFフィルタ

ヒーター、静電チャック、フェースプレートの電源ラインへのRFエネルギー侵入を防止します。全機種でコモンモードノイズを監視し、過温度保護を備えています。

≥30 dB@ 13.56 MHz
≥10 dB@ 400 kHz
1 – 3チャンネル数
2000 VDC耐電圧、1分間
詳細仕様
項目1CHヒーター2CH静電チャックフェースプレート
品番M-721001M-721004M-721003
ヒーター電源200–230 VAC · 16 A · 3000 W200–230 VAC · 22 A · 4500 W200–230 VAC · 16 A · 3000 W
静電チャックチャンネル—2000 V, 40 mA—
絶縁抵抗≥1000 MΩ
動作周囲温度−25～+55 °C
会社概要

CVS Precision Technologies

CVS Precision Technologies（上海世炜科技有限公司）は、上海でRF電力変換機器を設計・製造しています。当社製品は量産PECVD装置で稼働しており、既設のAdvanced Energy ApexおよびPDXの置き換えに対応します。 海外営業：CVS Precision Technologies, Ltd.（米国コロラド州）。

2026設立
1500 m²工場（上海市奉賢区）
40台PECVD装置10台に設置
江陰 · 無錫サービス拠点
ご注文とサービス

サービス

12か月出荷日からの保証期間
8～12週間標準納期
14日修理期間
EN · 中文取扱説明書、外形図、3Dモデル、試験成績書はご要望に応じて提供（英語・中国語）
お問い合わせ

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営業

sales@cvs-precision.com

電話

+86 139 2654 4148

工場

上海世炜科技有限公司
中国上海市奉賢区匯豊北路288号 1棟9号楼 3階