等离子体工艺射频电源

射频电源、匹配器、传感器和滤波器，覆盖完整射频传输路径。

我们为半导体、光伏和显示面板制造中的PECVD、刻蚀、扩散、离子源和溅射设备设计和制造射频功率设备。

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300 kHz – 13.56 MHz射频电源频率

0.9 – 5.5 kW射频电源功率

<2 s匹配器调谐时间

12个月质保

产品如何配合

射频传输路径

射频电源

Barracuda · Snapper

输出稳定的射频功率，连续波或脉冲

传感器（选配）

Phase-X

测量电压、电流、相位和负载阻抗

匹配器

Cruiser Solo · Duo

将等离子体负载变换为50 Ω

反应腔

等离子体负载

电极、基座、喷淋头

射频滤波器

加热器 · 静电卡盘 · 面板滤波器

阻止射频进入反应腔加热器和卡盘的供电线路

产品

产品系列

接口、通讯协议、调谐范围和外壳尺寸按客户设备配置。

射频电源 · 13.56 MHz

Barracuda

E类功放射频电源，标配连续波和脉冲输出。半机架水冷机箱，功率最高5.5 kW。

1.5 / 3 / 5.5 kW额定输出

150 Hz – 50 kHz脉冲频率

<10 ms射频开启响应

≤ −45 dBc谐波

完整规格

参数	1.5 kW	3 kW	5.5 kW
料号	M-719001	M-719002	M-719003
频率	13.56 MHz ±0.005%
输出功率，2:1 / 3:1 VSWR	1125 / 650 W	2000 / 1200 W	3350 / 1900 W
最大反射功率	300 W	600 W	1000 W
设定精度	设定点的±1%或额定功率的±0.1%，取较大者
低功率精度（HALO）	±1%；25 W以下±0.25 W	—	±1%；25 W以下±0.25 W
脉冲	占空比10–90%，1%步进 · 最小开启时间10 µs · 上升/下降时间<2 µs · 支持同步 / CEX
交流输入	187–229 VAC，三相，标称208 VAC · 功率因数0.96 · 典型效率60%
满功率电源电流	6.9 A/相	14 A/相	26 A/相
接头（交流 · 射频）	Harting Han-Q 5/0 · HN 母头		Harting Han-Modular 40 A · L29 (7/16) 母头
通讯	模拟量、RS-232、Ethernet或EtherCAT，订购时选定
冷却水	7.6 L/min 最小		11.4 L/min 最小
冷却水温度 · 压力	最高+35 °C · 2.0–6.9 bar
尺寸 · 重量	133 × 216 × 485 mm, 半机架 · 20.5 / 22 / 24 kg

射频电源 · 300–450 kHz

Snapper MF-900 / MF-1250

低频射频电源，内置7档输出变压器，与低阻抗等离子体负载匹配。频率可在300至450 kHz之间调节。

900 / 1250 W额定输出

10–125 Ω输出阻抗

±1%或±2 W稳压精度

2U19英寸机架

完整规格

参数	MF-900	MF-1250
料号	M-718001	M-718002
功率范围	9–900 W	10–1250 W
输出阻抗	10–50 Ω, 7档	10–125 Ω, 7档
最大反射功率	<250 W	<280 W
输出电压 · 电流	最大300 V（50 Ω）· 最大6 A
交流输入	180–230 VAC，单相，最大7 A	180–230 VAC，三相，典型6.2 A
接头	射频：N型母头 · 用户端口：25针D-sub
尺寸 · 重量	88 × 434 × 660 mm · 最大13.6 kg

自动匹配器

Cruiser Solo和Cruiser Duo

Solo：13.56 MHz单频匹配器，功率1.6至10 kW。Duo：两路匹配、单一输出，13.56 MHz配400 kHz或2 MHz。调谐范围按反应腔配置。可选内置Phase-X传感器。

<2 s调谐时间

<1 s预设点起

1.6 – 10 kWSolo输入功率

13.56 MHz ±5%频段

完整规格

型号	料号	额定值	尺寸 · 重量 · 冷却
Solo 1.6 kW	M-715001	3000 V_pk · 35 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 5.5 kg · 风扇
Solo 3 kW	M-715002	4000 V_pk · 35 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 5.5 kg · 风扇
Solo 5.5 kW	M-715003	6000 V_pk · 80 A_rms	210 × 270 × 315 mm · 6 kg · 风扇
Solo 10 kW	M-715004	10 000 V_pk · 80 A_rms	210 × 270 × 365 mm · 6.2 kg · 水冷 + 风扇
Duo 13.56 MHz + 400 kHz	M-716001	3000 W + 1000 W	210 × 270 × 315 mm · 10 kg
Duo 13.56 MHz + 2 MHz	M-716002	3000 W + 5000 W	203 × 356 × 406 mm · 14 kg
通讯	模拟量、RS-232、Ethernet或EtherCAT，订购时选定
工作环境	−25至+55 °C，相对湿度10–90%

在线V-I传感器 · 400 kHz – 13.56 MHz

Phase-X

实时测量反应腔处的电压、电流、相位和负载阻抗。微秒级TTL触发信号为设备提供快速反馈，用于闭环控制，包括低开放区域刻蚀的端点信号。

1–1000 V_rms电压范围

0.1–35 A_rms电流范围

±0.3°相位精度

±2%功率精度，0–30°

完整规格

参数	13.56 MHz	400 kHz
料号	M-717001
电压精度	±0.2 V 或 2%	±0.6 V 或 2%
电流范围 · 精度	0.1–35 A · ±0.02 A 或 2%	0.1–10 A · ±0.06 A 或 2%
相位精度（≥10 V，≥1 A）	±0.3°	±0.4°
按相位角的功率精度	±2% 至 ±4% (0–80°)	±3% 至 ±5% (0–80°)
接口	RS-232 · CVS VFP（虚拟前面板）软件 · TTL触发输出
射频接头	HN型母头 · 1000 V_rms, 35 A

LC低通滤波器 · 400 kHz和13.56 MHz

射频滤波器

阻止射频能量进入加热器、静电卡盘和面板的供电线路。所有型号均具备共模噪声监控和过温保护。

≥30 dB@ 13.56 MHz

≥10 dB@ 400 kHz

1 – 3通道数

2000 VDC耐压，1分钟

完整规格

参数	单通道加热器	双通道静电卡盘	面板
料号	M-721001	M-721004	M-721003
加热器电源	200–230 VAC · 16 A · 3000 W	200–230 VAC · 22 A · 4500 W	200–230 VAC · 16 A · 3000 W
静电卡盘通道	—	2000 V, 40 mA	—
绝缘电阻	≥1000 MΩ
工作环境温度	−25至+55 °C

公司

CVS Precision Technologies

上海世炜科技有限公司在上海设计和制造射频功率转换设备。产品已在量产PECVD设备上运行，并可替换已安装的Advanced Energy Apex和PDX设备。国际销售：CVS Precision Technologies, Ltd.（美国科罗拉多州）。

2026成立时间

1500 m²工厂，上海奉贤

40台安装于10台PECVD设备

江阴 · 无锡服务网点

订购和服务

服务

12个月自发货起质保

8–12周标准交期

14天维修周期

中文 · EN操作手册、外形图、3D模型和测试报告可按需提供

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销售

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电话

+86 139 2654 4148

工厂

上海市奉贤区汇丰北路288号1幢9号楼3层